當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > EVG納米壓印機(jī) > 納米壓印母版制作系統(tǒng)
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category
我們的EVG770分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái)，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻地復(fù)制模板。結(jié)合金剛石車(chē)削或直接寫(xiě)入方法，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。
更新時(shí)間：2025-12-18
型號(hào)：EVG770 NT
廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
瀏覽量：3590