TLS 劃片（熱激光分離）是一種獨(dú)特的技術(shù)，利用熱誘導(dǎo)產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力來分離硅（Si）、碳化硅（SiC）、鍺（Ge）等脆性半導(dǎo)體材料。該技術(shù)可將晶圓分割成芯片，同時(shí)實(shí)現(xiàn)邊緣質(zhì)量，顯著提升制造良率與產(chǎn)能。與傳統(tǒng)的劃片技術(shù)（如刀片切割和激光燒蝕）相比，TLS 劃片工藝更潔凈，切割邊緣無微裂紋，并能獲得更高的抗彎強(qiáng)度。

TLS 劃片的切割速度可達(dá)每秒 300 毫米，相比傳統(tǒng)劃片方法，其工藝吞吐量可提升高達(dá) 10 倍，尤其適用于碳化硅（SiC）基器件，能夠真正實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能的大規(guī)模生產(chǎn)。

此外，與其它晶圓劃片方法相比，TLS 劃片可將每片晶圓的劃片成本降低一個(gè)數(shù)量級(jí)甚至更多。

TLS-Dicing 是一種無切縫（kerf-free）的激光解理工藝，可實(shí)現(xiàn)： 

切割后芯片邊緣質(zhì)量好

•幾乎無崩邊和微裂紋

•抗彎強(qiáng)度

•電學(xué)特性

成本優(yōu)勢(shì)與效率

•高工藝速度帶來高吞吐量

•無需刀具，幾乎無耗材，顯著降低擁有成本（CoO）

•無切縫解理，幾乎不產(chǎn)生顆粒 

TLS-Dicing 是一種用于解理脆性半導(dǎo)體材料的兩步分離工藝。