MicroLED激光修復系統(tǒng)、激光缺陷修復設備用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整

MicroLED激光修復系統(tǒng)、激光缺陷修復設備可針對半導體行業(yè)中的不同應用執(zhí)行高吞吐量的激光微加工。該系統(tǒng)將高精度工藝與高動態(tài)性能相結合。因此，其可能的應用包括：

• 數(shù)字邏輯電路的編程，

• 數(shù)字電位器的修整，

• 芯片上半導體存儲器的修復，

• 失效微LED的移除。

MicroLED像素級修復工藝得益于其高度靈活的工具配置，microVEGA FC 能夠處理 200 毫米和 300 毫米的晶圓MicroLED像素缺陷修復工作，加工速度高達 400 毫米/秒，使其在成本、產(chǎn)量、MicroLED良率提升和靈敏度方面成為理想的生產(chǎn)解決方案。

MicroLED激光修復系統(tǒng)、激光缺陷修復設備采用微米級個位數(shù)的激光光斑，在半導體晶圓上連續(xù)移動。在此過程中，激光以高速選擇性地加工特定的微結構。由于這些結構尺寸微?。s 1-2 微米），因此要求激光光斑相對于這些結構具備很高的三維定位精度。為此，microVEGA FC 配備了集成的測量技術，以實現(xiàn) 100% 的工藝控制。